联讯 S3030F 高压源表±3500V、±120mA输出能力_SMU源表_半导体材料与器件参数分析_产品信息

联讯 S3030F 高压源表±3500V、±120mA输出能力

产品型号：S3030F 原产地：中国

所属类别：SMU源表

产品简介：

联讯 S3030F是结构紧凑、经济高效的单通道高电压、高功率电源/测量单元，能够同时输出和测量电压和电流，能够提供最大±3500V、±120mA（直流）、10 GΩ、180W功率输出，能广泛地应用在功率半导体特性，GaN、SiC表征，复合材料，高压漏电流等测试和研究领域。S3030F支持传统的SMU SCPI命令，让测试代码的迁移变得轻松快捷，可支持多机同步，集成到生产测试系统中使用，以提高系统的测试效率并降低成本。

产品特点

产品参数

应用说明

功能配置

S3030F高压型高精度源表SMU

联讯仪器S3030F是结构紧凑、经济高效的单通道高电压、高功率电源/测量单元，能够同时输出和测量电压和电流，能够提供*大±3500V、±120mA（直流）、10 GΩ、180W功率输出，能广泛地应用在功率半导体特性，GaN、SiC表征，复合材料，高压漏电流等测试和研究领域。S3030F支持传统的SMU SCPI命令，让测试代码的迁移变得轻松快捷，可支持多机同步，集成到生产测试系统中使用，以提高系统的测试效率并降低成本。

S3030F高压型高精度源表SMU电压源指标：

电压设置精度	量程	设置分辨率	精度(1年) ±(%读数+ 偏置)	典型噪声(有效值) 0.1 Hz-10Hz
	±3500 V	40 mV	0.02%+600 mV	50 mV
	±2500 V	30 mV	0.02%+450 mV	40 mV
	±1500 V	20 mV	0.02%+300 mV	25 mV
	±600 V	7mV	0.02%+120 mV	10 mV
	±200 V	3mV	0.02%+40 mV	3 mV
温度系数	±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
设置时间	<5 mS (典型值)
过冲	<±1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试)
噪声10Hz-20MHz	1500V电压源，120 mA电阻负载，<200mV RMS

S3030F高压型高精度源表SMU电流源指标：

电流设置精度	量程	设置分辨率	精度(1年) ±(% 读数+偏置)	典型噪声(有效值)0.1Hz-10Hz
	±120 mA¹	3 uA	0.02% + 35 μA	120 uA
	±20 mA	400 nA	0.02% + 15 μA	20 uA
	±10 mA	200 nA	0.02% + 3 uA	10 uA
	±1 mA	20 nA	0.02% + 300 nA	1 uA
	±100 μA	2 nA	0.02% + 30 nA	100 nA
	±10 μA	200 pA	0.03% + 5 nA	10 nA
	±1 μA	20 pA	0.03% + 1 nA	1 nA
	±100 nA	2 pA	0.2% +100 pA+Vo x 100 fA	100 pA
	±10 nA	200 fA	0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA	10 pA
	±1 nA	20 fA	0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA	1 pA
温度系数	±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
设置时间	<10 ms (典型值)
过冲	<±1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试)

1，120mA量程仅支持1500V及以下电压量程

S3030F高压型高精度源表SMU电压表指标：

电压测量精度	量程	显示分辨率	精度(1年)±(%读数+偏置)
	±3500 V	1 mV	0.02%+600 mV
	±2500 V	1mV	0.02%+450 mV
	±1500 V	1 mV	0.02%+300 mV
	±600 V	100 uV	0.02%+120 mV
	±200 V	100 uV	0.02%+40 mV
温度系数	±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

S3030F高压型高精度源表SMU电流表指标：

电流测量精度	量程	显示分辨率	精度(1年) ±(% 读数+偏置)
	±120 mA¹	100 nA	0.02% + 35 μA
	±20 mA	10 nA	0.02% + 15 μA
	±10 mA	10 nA	0.02% + 3 uA
	±1 mA	1 nA	0.02% + 300 nA
	±100 μA	100 pA	0.02% + 30 nA
	±10 μA	10 pA	0.03% + 5 nA
	±1 μA	1 pA	0.03% + 1 nA
	±100 nA	100 fA	0.2% +100 pA+Vo x 100 fA
	±10 nA	10 fA	0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA
	±1 nA	1 fA	0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA
温度系数	±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

1，120mA量程仅支持1500V及以下电压量程

S3030F高压型高精度源表SMU电阻表指标(4线)

电阻测量精度	量程	显示分辨率	默认测量电流	典型精度(1年) ±(%读数+偏置)
	100 Ω	100 μΩ	100 mA	0.075% + 400 mΩ
	1 kΩ	1 mΩ	10 mA	0.07% + 4 Ω
	10 kΩ	10 mΩ	1 mA	0.07% + 40 Ω
	100 kΩ	100 mΩ	100 μA	0.07% + 400 Ω
	1 MΩ	1 Ω	10 μA	0.10% + 4 kΩ
	10 MΩ	10 Ω	1 μA	0.15% + 40 kΩ
	100 MΩ	100 Ω	100 nA	0.32% + 400 kΩ
	1 GΩ	1 KΩ	10 nA	0.32% + 4 MΩ
	10 GΩ	10 KΩ	1 nA	0.72% + 40 MΩ
温度系数	±(0.15 × 精度指标)/℃ (0℃-18℃，28℃-50℃)
手动电流源电阻测量 (四线)	总体误差=测量电压/电流源设定电流=电阻读数x(电压源量程的增益误差百分比+电流表量程的增益误差百分比+电流源量程偏置误差/设定电流)+(电压源量程偏置误差/设定电流值) 示例：电流源设定电流=10mA 电压测量量程=200V 总体误差=(0.02%+0.02%+3μA/10mA)+(40mV/10mA) ≈0.07%+4Ω

注：测量电压=默认测量电流*被测电阻值≤10.5V

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