IWATSU CS-8000 半导体参数分析仪CS-8500 曲线图示仪 日本岩崎
产品型号:CS-8500 原产地:
所属类别:半导体参数分析仪
产品简介:
可与多种单元组合,支持任何工序的特性评估,适用于下一代的半导体测量。
搭载最大电压5kV、最大电流2kA,备有脉冲输出、门极模式、微电流测量功能,大力支持Sic、GaN等宽禁带半导体的设计评估。
IWATSU CS-8000 半导体参数分析仪CS-8500 曲线图示仪 日本岩崎
产品型号:CS-8500 原产地:
所属类别:半导体参数分析仪
产品简介:
可与多种单元组合,支持任何工序的特性评估,适用于下一代的半导体测量。
搭载最大电压5kV、最大电流2kA,备有脉冲输出、门极模式、微电流测量功能,大力支持Sic、GaN等宽禁带半导体的设计评估。
可与多种单元组合,支持任何工序的特性评估,适用于下一代的半导体测量。
搭载最大电压5kV、最大电流2kA,备有脉冲输出、门极模式、微电流测量功能,大力支持Sic、GaN等宽禁带半导体的设计评估。
最大5kV、最大2000A的大功率测试
正确的微电流测量 (分辨率250fA)
大画面12.1英寸触摸屏幕
多种GATE信号输出功能
充实的温度特性测量选配件
探测台上的大功率晶圆测试
搭载12.1英寸TFT-LCD(1,280×800)的高清、大画面显示器,添加触摸屏幕操作功能,可通过前面板上的功能键、各功能的独立旋钮实现直观操作。
可将任意电压/电流参数分别设置于X轴、Y轴,并显示Vds Id特性、阈值电压、Vds-Vgs饱和特性等各种半导体特性曲线。同时,还可在Y轴上设置多个参数。刻度可在Log/线性之间相互切换。
可像示波器一样通过时间轴显示测量印加波形。可实时确认脉宽、测量点、振荡等波形异常等,所以可轻松检验测量是否正确完成。 所有印加波形数据均可与X-Y显示的数据同时保存,所以可对测量结果再次执行检验。
以文本方式显示详细测量结果和测量条件、状态。
设置设备的测量配置。支持以图形方式显示电压/电流单元的选择及配线变更等
在此区域执行测量参数/测量限值的设置及手动/自动测量的切换等作业。
正面面板上配有按钮和转动旋钮,可轻松执行手动测量。 配置于中央的数字键可执行参数的数值输入。 可通过DRAIN/COLLECTOR/GATE/BASE/垂直轴/水平轴转动旋钮轻松执行手动测量。
可基于用途任意选择测量所需电压/电流单元。
右侧照片分别为:
上段:测试台
下段:大电流单元
2kV、5kV的高电压单元。DC/脉冲波可选。额定电压/额定电流驱动测量可选。
主单元 | CS-8200 | CS-8500 |
---|---|---|
最大电压 (最大电流) | 2 kV (20 mA) | 5 kV (8 mA) |
波形 | DC、脉冲 | |
极性 | 正/负 | |
测量电流分辨率 | 250 fA |
200V的中电压单元。额定电压/额定电流驱动测量可选。DC、脉冲等、SIN、半波、全波波形可选。
最大电压 (最大电流) | 200 V(2 A) |
---|---|
波形 | DC(200 mA)、 脉冲(2A)、 SIN、半波、全波 |
极性 | 正/负/两极性 |
测量电流分辨率 | 250 fA |
40V的单元。额定电压/额定电流驱动测量可选。DC、脉冲等、SIN可选。
最大电压(最大电流) | 40 V(1 A) |
---|---|
波形 | DC、脉冲、SIN |
极性 | 正/负/两极性 |
测量电流分辨率 | 250 fA |
搭载大电流模式,由此可支持最大2000A的大电流测量。脉宽、测量周期、测量范围均可调整
HC 单元 | CS-205 | CS-210 | CS-220 |
---|---|---|---|
最大电流 (电压) | 500 A (50 V) | 1 kA (50 V) | 2 kA (50 V) |
波形 | 脉冲 | ||
脉宽 | 10μs~1ms | 10μs~500μs | |
极性 | 正/负 |
通过三轴的采用和测量类的优化,有效削减了设备内的漏电流和噪声,可实现微电流的稳定测量。
可按排序输出、印加GATE信号。
保持时间可调范围
0.000[s] ~ 5.000[s]
预备信号电压范围
GATE侧 -40[V] ~ +40[V]
CS-8000对于具有迟滞的SiC及GaN等宽禁带半导体测量备有便利功能。
双重扫频功能可同时显示UP扫频、DOWN扫频,所以可执行迟滞观测。
添加联动功能,备有输出限值功能。
可为电压/电流/功率分别设置限值,由此防止DUT的损伤。
同时,通过硬件的过电流保护功能,在流入测量量程的1.4倍电流时即会阻断电流。
可根据测量对象电压和电流选择HC单元或测试台。
■结构示例 在2kV、2,000A环境下使用时
主单元:CS-8200
HC单元:CS-220
测试台:CS-8200
附件电缆:
HV标配电缆套装 CS-021
HC标配电缆套装 CS-022
主单元 机型名称 | CS-8020 | CS-8200 | CS-8500 | |
---|---|---|---|---|
HV单元 | ||||
最大峰值电压(最大电流) | ― | 2 kV(20 mA) | 5 kV(8 mA) | |
测量电压量程(满量程) | ― | 2 kV ~ 50 V | 5 kV ~ 50 V | |
测量电流量程 | ― | 20 mA ~ 50 μA | 20 mA ~ 50 μA | |
最小测量电流分辨率 | ― | 250 fA | 250 fA | |
波形 | ― | DC/脉冲 | DC/脉冲 | |
MV单元 | ||||
最大峰值电压(最大电流) | 200 V(1 A) | |||
测量电压量程(满量程) | 200 V ~ 200 mV | |||
测量电流量程 | 2 A ~ 5 nA | |||
最小测量电流分辨率 | 250 fA | |||
波形 | DC(200 mA)、脉冲(2A)、SIN、半波、全波 | |||
GATE单元 | ||||
最大峰值电压(最大电流) | 40 V(1 A) | |||
测量电压量程(满量程) | 50 V ~ 1 V | |||
测量电流量程 | 1 A ~ 5 nA | |||
最小测量电流分辨率 | 250 fA | |||
波形 | DC/脉冲/SIN(50 Hz) | |||
标配附件 | 电源线、控制接口终端器、使用说明书(手册+CD) |
HC单元 机型名称 | CS-205 | CS-210 | CS-220 |
---|---|---|---|
最大峰值电流(最大电压) | 500 A(50 V) | 1,000 A(50 V) | 2,000 A(50 V) |
测量电压量程(满量程) | 50 V ~ 200 mV | 50 V ~ 200 mV | 50 V ~ 200 mV |
测量电流量程 | 500 A ~ 5 A | 1,000 A ~ 5 A | 2,000 A ~ 5 A |
波形 | 脉冲 (脉宽10μs ~ 1ms) | 脉冲 (脉宽10μs ~ 500μs) | 脉冲 (脉宽10μs~ 500μs) |
标配附件 | 电源线、HC-FIXTURE连接单元、使用说明书 |
使用HC单元时,需另行准备感应电缆。
测试台 机型名称 | CS-320MV(计划近日发售) | CS-322HV/HC |
---|---|---|
标配附件 | 电源线、标配引脚套装(CS-005 1套7根)、使用说明书 | |
― | HV/HC电缆(2根) |
连接测试台时,需另行准备连接线。
电缆套装名称 | 型号 | 品名 |
---|---|---|
CS-020 MV标配电缆套装 (CS-320专用推荐套装) | CS-026 | 三轴电缆(L=1.0m) 7根 |
CS-027 | 控制接口连接线(L=1.0m) 1根 | |
CS-028 | 联动/感应电缆(L=1.0m) 1根 | |
CS-021 HV标配电缆套装 (CS-322专用推荐套装) | CS-025 | HV电缆(L=1.0m) 2根 |
CS-026 | 三轴电缆(L=1.0m) 7根 | |
CS-027 | 控制接口连接线(L=1.0m) 1根 | |
CS-028 | 联动/感应电缆(L=1.0m) 1根 | |
CS-022 HC标配电缆套装 (HC单元专用推荐套装) | CS-027 | 控制接口连接线(L=1.0m) 1根 |
CS-028 | 联动/感应电缆(L=1.0m) 1根 |
日本岩通计测IWATSU - 德国PMK - 牛顿N4L- GWINSTEK- 日本APOLLOWAVE - 德国 DR HUBERT 中国总代理
BH分析仪|半导体曲线图示仪|探针台-探针卡|碳化硅双脉冲示波器|光隔离探头|特高压浮地|PSM3750频率响应|罗氏电流线圈|PMK高压差分探头|压电超声高频功放