替代是德B1505 集成电路半导体参数分析仪曲线测试仪 IWATSU CS-8000系列_半导体参数分析仪_半导体器件参数分析_产品信息

替代是德B1505 集成电路半导体参数分析仪曲线测试仪 IWATSU CS-8000系列

产品型号：CS-8000 原产地：日本

所属类别：半导体参数分析仪

产品简介：

■最大5kV，最大2000A时的高功率测试 ■精确的微电流测量（分辨率250fA） ■大屏幕12.1英寸触摸屏 ■多种GATE信号输出功能 ■丰富的温度特性测量选项 ■在探针台上进行高功率晶片测试

产品特点

产品参数

应用说明

功能配置

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半导体曲线跟踪器 CS-8000 系列是各种单元的组合，非常适合所有工艺的表征，支持下一代半导体测量。

■最大5kV，最大2000A时的高功率测试

■精确的微电流测量（分辨率250fA）

■大屏幕12.1英寸触摸屏

■多种GATE信号输出功能

■丰富的温度特性测量选项

■在探针台上进行高功率晶片测试

半导体曲线跟踪器CS-8000系列的主要特点

易于使用的 UI

配备 12.1 英寸 TFT-LCD （1，280×800）高清大屏幕显示屏，除了触摸屏操作外，前面板上的功能键和每个功能的独立旋钮可实现直观的操作。

（1） X-Y 显示区域

可将任意电压/电流参数分别设置为 X 轴 Y 轴，并显示各种半导体特性曲线，如 Vds Id 特性、阈值电压和 Vds-Vgs 饱和特性。您还可以在 Y 轴上设置多个参数。刻度可以在日志/线性之间切换。

（2） Y-T 显示区域

测量应用波形在时间轴上显示为示波器。由于可以实时检查波形异常（如脉冲宽度、测量点和振荡），因此可以轻松验证是否可以进行准确的测量。所有应用波形数据都可以与 X-Y 显示数据同时存储，以便重新验证测量结果。

（3）测量数据显示区域

以纯文本格式显示详细的测量结果、测量条件和状态。

（4）配置设置区域

设置设备的测量配置。通过图形显示支持电压/电流单元的选择和布线更改。

5参数设定区域

设定测量参数、测量限制、手动/自动测量等在此区域进行切换。

（6）操作面板

前面板上设有按钮和旋钮，便于手动测量。居中的数字键盘允许您输入参数的数字。使用 DRAIN/COLLECTOR、门/BASE、垂直轴和水平轴旋钮轻松进行手动测量。

适合应用的输出源

可根据应用选择测量所需的电压和电流单元。

右图为

上部：测试夹具

下半部分：高电流单元

■HV单元
2kV，5kV 高压单元。可以选择直流/脉冲波。您可以选择恒压和恒流驱动测量。	主单元CS-8200CS-8500最大电压（最大电流）2 kV（20 mA）5 kV（8 mA）波形直流，脉冲极性正/负测量电流分辨率250 fA

	■MV单元（所有主单元通用）
最大电压（最大电流）200 V（2 A）波形直流（200 mA）、脉冲（2 A）、SIN、半波、全波极性正/负/双极性测量电流分辨率250 fA	200V 中压单元。您可以选择恒压和恒流驱动测量。除了直流、脉冲外，您还可以选择 SIN、半波和全波波形。

■GATE单元（所有主单元通用）
40V 单元。您可以选择恒压和恒流驱动测量。除了直流、脉冲外，还可以选择 SIN。	最大电压（最大电流）40 V（1 A）波形直流、脉冲、SIN极性正/负/双极性测量电流分辨率250 fA

	■HC单元
HC单元CS-205CS-210CS-220最大电流（电压）500 A（50 V）1 kA（50 V）2 kA（50 V）波形脉冲脉冲宽度10μs～1ms10μs～500μs极性正/负	配备大电流模式，可支持高达 2000A 的大电流测量。脉冲宽度、测量周期和测量范围可以更改。

最小电流分辨率 250fA

通过采用三轴测量和优化测量系统，减少了设备中的泄漏和噪声，从而稳定测量微电流。

各种门信号输出

GATE 信号可以按顺序输出和应用。

保持时间可变范围
0.000[s] 到 5.000[s]

备用信号电压范围
GATE 侧 -40[V] 到 +40[V]

滞后测量

CS-8000 具有测量宽带隙半导体（如 SiC 和 GaN）的有用功能，这些半导体具有滞后性。

双扫描功能可同时显示 UP 扫描和 DOWN 扫描，从而允许观察滞后。

安全机制

除了联锁功能外，它还具有输出限制功能。

可以设置电压、电流和功率以及每个限制，以防止 DUT 损坏。
此外，硬件的过流保护功能可在电流流经测量范围的 1.4 倍时切断电流。

组合校准

您可以选择 HC 单元或夹具，以满足测量目标的电压和电流。

■构成例		2 kV，2，000 A 时使用
	主单元		CS-8200	附件电缆
	HC 单元		CS-2200		HV 标准电缆套件	CS-021
	测试夹具		CS-322HV/HC		HC 标准电缆套件	CS-022

半导体曲线跟踪器CS-8000系列主要规格

HV 单元
CS-8000 系列主要规格
主单元模型名称	CS-8020	CS-8200	CS-8500（TBD）
最大峰值电压（最大电流）	―	2 kV（20 mA）	5 kV（8 mA）
测量电压范围（满量程）	―	50 V ～ 2 kV	50 V ～ 5 kV
测量电流范围	―	20 mA ～ 50 μA	20 mA ～ 50 μA
最小测量电流分辨率	―	250 fA	250 fA
波形	―	直流脉冲	直流脉冲
MV 单元
最大峰值电压（最大电流）	200 V（2 A）
测量电压范围（满量程）	200 mV ～ 200 V
测量电流范围	2 A ～ 5 nA
最小测量电流分辨率	250 fA
波形	直流脉冲
门单位
最大峰值电压（最大电流）	40 V（1 A）
测量电压范围（满量程）	1 V ～ 50 V
测量电流范围	5 nA ～ 1 A
最小测量电流分辨率	250 fA
波形	直流脉冲 SIN （50 Hz）
标准附件	电源线、控制接口终端、用户手册（小册子 + CD）

HC 单元型号名称	CS-205	CS-210	CS-220
最大峰值电流（最大电压）	500 A（50 V）	1,000 A（50 V）	2,000 A（50 V）
测量电压范围（满量程）	200 mV ～ 50 V	200 mV ～ 50 V	200 mV ～ 50 V
测量电流范围	500 mA ～ 500 A	500 mA ～ 1,000 A	500 mA ～ 2,000 A
波形	脉冲（宽度 10 μs 至 1 ms）	脉冲（宽度 10 μs 至 500 μs）	脉冲（宽度 10 μs 至 500 μs）
标准附件	电源线、HC-FIXTURE 连接单元、用户手册

※使用HC单元时，需要另外使用感应电缆。

测试夹具模型名称	CS-320MV（即将推出）	CS-322HV/HC
标准附件	电源线，标准引线套件（CS-005 1 型 7 件套），用户手册
标准附件	―	HV/HC 电缆（2 根）

• 连接测试夹具时，需要单独的电缆。

■ 电缆组（连接到测试夹具或HC单元时使用。）
电缆组名称	型号	产品名称
CS-020 MV 标准电缆套件（推荐用于 CS-320 套件）	CS-026	7 根三轴电缆（L=1.0 米）
	CS-027	1 根控制接口电缆（L=1.0 米）
	CS-028	1 根联锁/感应电缆（L=1.0 m）
CS-021 HV 标准电缆套件（推荐用于 CS-322 套件）	CS-025	2 根 HV 电缆（L =1.0 米）
	CS-026	7 根三轴电缆（L=1.0 米）
	CS-027	1 根控制接口电缆（L=1.0 米）
	CS-028	1 根联锁/感应电缆（L=1.0 m）
CS-022 HC 标准电缆套件（HC 单元推荐套件）	CS-027	1 根控制接口电缆（L=1.0 米）
CS-022 HC 标准电缆套件（HC 单元推荐套件）	CS-028	1 根联锁/感应电缆（L=1.0 m）

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