Apollowave MJ-3000 阿波罗无液氮真空低温探针台系统_真空极低温探针台系统_芯片探针台系统_产品信息

Apollowave MJ-3000 阿波罗无液氮真空低温探针台系统

产品型号：MJ-3000 原产地：日本

所属类别：真空极低温探针台系统

产品简介：

可以无需要液氮进行－180℃～＋100℃ 的高低温真空探针测试。

产品特点

产品参数

应用说明

功能配置

液体窒素不要！　冷・加温真空チャンバ

MJ-3000は、半導体材料等の各特性を測定するための25mm 角ウェーハ対応のパルスチューブ冷凍機を実装した、小型軽量の冷・加温真空チャンバーです。液体窒素を用意する必要がなく、手軽に－180℃～＋100℃まで試料を温度可変することができます。また、外部操作型ポジショナーが搭載されていますので、真空中で自由に深針移動が可能です。

	４深針の外部操作型ポジショナーを搭載し、大気開放せずに真空中で深針移動ができます。
	従来の装置と違い、加熱ステージとパルスチューブ冷凍機 ※ が搭載されており、液体窒素を用意する必要がなく、長時間の作業でも酸欠（酸素欠乏症）の心配がありません。
	試料を－180℃～＋100℃まで温度可変することができ、一定温度状態の試料測定が長時間可能となっています。
	チャンバー上蓋はヒンジ開閉式で110°開きますので、試料へのアクセスがスムーズにできます。
	ビューイングポート（回転式遮光蓋付属）が標準装備されており、光照射および顕微鏡を使用しての試料観測、探針移動、遮光に便利です。

※本装置搭載のパルスチューブ冷凍機は、従来型と違いコンプレッサーと一体型で省スペース、低振動、長寿命、低消費電力の冷凍機です。

MJ-3000基本仕様

温度ステージ部
温度精度（ステージ温度）	±１℃（ホールド状態）
振動	約２μｍ以下
材料	銅（レーデント＜黒＞）
寸法	□33mm（接地タイプ）
試料有効寸法	□25mm
温度範囲	－ 180℃～＋ 100℃（Max.）
センサー	PT100（4 線式）
ヒーター	セラミックスヒーター
試料押え	４個

真空チャンバー部
真空度	10 ^－ 2 Pa 以上（真空ポンプに依存します）
ビューポート	石英ガラスφ 79 × t4mm（覗き有効径66 φ）
ポジショナーポート	外部操作型用：４個
予備端子ポート	1個
リークバルブポート	1/ ４"　スウェージロック：1 個
センサーポート	ICF34：１個
ヒーターポート	ICF34：１個
ゲージポート	NW25：１個
予備ポートえ	NW25：１個
真空引口	NW40：１個

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