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产品信息

Product information

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产品信息
Cascade E/MPS150TRIAX 美博6英寸高通用经济型探针台

Cascade E/MPS150TRIAX 美博6英寸高通用经济型探针台

产品型号：E/MPS150TRIAX      原产地：美国

所属类别：标准手动探针台

产品简介：

EPS150TRIAX是一款专为低噪声fA级电流/fC级电容晶圆测量表征而研发打造的6英寸手动探针台。配置低噪声TRIAX卡盘、TRIAXL探针臂、探针以及电缆，支持开尔文连接，为晶圆、碎片以及单粒Die的高精度I-V/C-V测量表征提供了很大的信心。

产品特点
产品参数
应用说明
功能配置

低成本模块化灵活定制150mm探针台！

FormFactor为其一流的150mm探针台引入了模块化概念。客户以低成本轻松配置探针台方案，满足当前和未来的需求。客户只需选择主机型，再按需要选择配件或套装。



可用选项

MPS150 - 150 mm Probe Station starting at $13.880

显微镜

  • 立体变焦显微镜

  • 高分辨率显微镜

Easy – flexible – future proof: Customize your 150 mm probe station based on flexible modules at an incredible price.

应用套装（含探针）

  • IV / CV

  • 基础射频

  • 毫米波

  • 是Keysight N5291组合

  • 与VDI扩频模块组合

  • 与Focus Delta Tuner组合

  • 先进太赫兹（THz）

  • 失效分析

  • 大功率

MPS150 - 150 mm Probe Station - Configuration Example: RF

定位器套件

  • 基础版

  • 毫米波（mmW）/太赫兹（THz）/负载牵引针座

MPS150 - 150 mm Probe Station starting at $13.880

载物台

  • 同轴

  • 三轴

  • 射频

  • 高温

  • 大功率

MPS150 - 150 mm Probe Station starting at $13.880

探针台基座

  • 基础版

  • 毫米波（mmW）/太赫兹（THz）/负载牵引探针台基座

配置示例

Easy – flexible – future proof: Customize your 150 mm probe station based on flexible modules at an incredible price.

同轴-直流参数测量，漏电低至pA级别

  • 可移动针座承载平台，高度调节为40mm，接触/分离行程为200μm，重复精度为±1μm

  • 载物台基座移动摩擦力可调、可锁定，具有独特的Z方向调节功能和90mm拉出设计

  • 磁吸针座有三个精密线性滚珠轴承，1μm分辨率

MPS150 - 150 mm Probe Station - Configuration Example: TRIAX

Triax –低噪声测量，低至fA级别

  • 体式显微镜：15x–100x放大倍率，具有大视场和CCD安装接口

  • 四个三轴探针臂和高质量三轴电缆

  • 光/EMI 屏蔽（可选）

  • 用于 fF 级别测量的升级选项

  • 三轴载物台θ方向可±8°微调，有三个辅助载物台，表面平整度±5μm，确保接触力度一致性

  • 利用单一设置可完成东/西至北/南测量

MPS150 - 150 mm Probe Station - Configuration Example: RF

至67 GHz射频测试

  • 提供三种可选探针：INFINITY，ACP探针，| Z | 探针

  • 含匹配的电缆和校准片

  • RF 芯片载物台的表面平坦度为 ±3 μm

  • 独特的200μm探针座承载平台接触/分离行程，重复性≤±1μm

  • WinCal XE 校准软件

MPS150 - 150 mm Probe Station - Configuration Example: mm-Wave

毫米波（mmW）-70GHz到Sub-THz和负载牵引

  • SlimVue显微镜，可快速更换镜头，光学分辨率为1um，可分辨50um Pad

  • 毫米波（mmW）针座承载平台上刻有SIGMA套装摆放标识

  • 支持高频、负载牵引、同轴电缆和波导配置

  • 针座承载平台的位置可通过指示计直接读出

  • 防震台

MPS150 - 150 mm Probe Station - Configuration Example: Terahertz

太赫兹（THz）和负载牵引测试

  • SlimVue显微镜，可快速更换镜头，光学分辨率为1um，可分辨50um Pad

  • 毫米波（mmW）针座承载平台上刻有SIGMA套装摆放标识

  • 支持高频、负载牵引、同轴电缆和波导配置

  • 针座承载平台的位置可通过指示计直接读出

  • 坚固的机械设计和隔振平台

  • 亚微米级精度

  • 电动定位器

  • 探针座承载平台接触/分离重复性＜±1um

  • 千分尺调节，保证精确和可重复的扎针

MPS150 - 150 mm Probe Station - Configuration Example: Failure A


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