高温芯片可接受度测试系统 WAT-200KA
产品型号:WAT-200KA 原产地:日本
所属类别:WAT晶圆可接受度测试系统
产品简介:
本系统是专门为二极管、三极管、MOSFET、IGBT、宽禁带功率器件等两端和三端功率器件的晶圆进行在片晶圆级IV/CV等电性能测试/检查,可靠性电学测试所开发的,对应TAIKO 规格晶圆并向下兼容常规晶圆与芯片测试,系统可实现MOSFET,IGBT等功率器件芯片制程中的I-V /C-V 特性检查测试,IGBT/FRD 芯片的静态特性在片测试。
产品信息
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高温芯片可接受度测试系统 WAT-200KA
产品型号:WAT-200KA 原产地:日本
所属类别:WAT晶圆可接受度测试系统
产品简介:
本系统是专门为二极管、三极管、MOSFET、IGBT、宽禁带功率器件等两端和三端功率器件的晶圆进行在片晶圆级IV/CV等电性能测试/检查,可靠性电学测试所开发的,对应TAIKO 规格晶圆并向下兼容常规晶圆与芯片测试,系统可实现MOSFET,IGBT等功率器件芯片制程中的I-V /C-V 特性检查测试,IGBT/FRD 芯片的静态特性在片测试。
本系统是专门为二极管、三极管、MOSFET、IGBT、宽禁带功率器件等两端和三端功率器件的晶圆进行在片电性能测试/检查,可靠性电学测试所开发的,对应TAIKO 规格晶圆并向下兼容常规晶圆与芯片测试,集成全球顶尖的半导体测试仪器美国Keithley公司4200A-SCS型测试仪接口和日本APOLLOWAVE公司经典高低温阿尔法200手动探针台,将阿尔法200与4200A-SCS匹配后可实现MOSFET,IGBT等功率器件芯片制程中的I-V /C-V 特性检查测试,IGBT/FRD 芯片的静态特性在片测试。
本系统的晶圆接触装置由阿尔法探针台及探针,探针臂等组成;探针台使用时无须进行任何水平度调整即可对应8英寸TAIKO晶圆的测试,并向下兼容NORMAL 规格晶圆的测试。
本系统配备有载物台支架与安全联锁防护装置,测试时安全联锁开关信号与仪器进行联锁保护,确保操作人员及器件的安全。
本系统设计时结合人体工程学原理及晶圆在片测试行业操作规范,进行了多项设计创新,有效的降低了误碰与误操作机率,与普通测试台相比具有优异的性能且具有操作灵活性与易用性。
WAT系统可以对四端,三端,二端子结构的IGBT,MOSFET,二极管,三极管,电阻性器件,电容及容性器件,及阻性及容性组合的器件进行参数分析,包括漏电,导通电流,内阻,耐压,结电容,C-V特性等电参数测量。
最大工作电压:200V, 可扩展2000V
最小工作电压:0.2uV
最大工作电流:100A (pulse)
最小分辨率电流:0.1fA
最高工作温度:300度
支持晶圆:4“, 6” ,8“
接触电阻:< 15mohm
TAIKO: 支持最低100um-300um
支持器件类型:支持平面,垂直型,2端,3端,4端子器件
日本岩通计测IWATSU - 德国PMK - 牛顿N4L- GWINSTEK- 日本APOLLOWAVE - 德国 DR HUBERT 中国总代理
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