Apollowave α-100 阿波罗微波4英寸手动探针台
产品型号:α-100 原产地:日本
所属类别:标准手动探针台
产品简介:
Offer the new standard model of alfa series with high operational advanced performance
Apollowave α-100 阿波罗微波4英寸手动探针台
产品型号:α-100 原产地:日本
所属类别:标准手动探针台
产品简介:
Offer the new standard model of alfa series with high operational advanced performance
1 探针台主机:α-100
1.1 适用: 4英寸及以下晶圆或芯片
1.2 X轴: 粗调行程:100mm
粗调方式:自锁式推拉杆
微调行程:13mm
微调方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.3 Y轴: 粗调行程:120mm
粗调方式:自锁式推拉杆
微调行程:13mm
微调方式:千分尺控制
控制分辨率:10um
1.4 Z轴: 移动量:5mm
粗调行程:5mm,精度:±10%以内
微调行程:0.3mm,精度:±20%以内
1.5 θ轴: 移动量:±10°以上
1.6 平行度: 对载物台 30um以内
1.7 尺寸: 400(W)×360(D)×330(H) 不含突出部
1.8 重量: 约25kg
1.9 真空压 小于-65kPa(用于晶圆吸附)
1.10 压缩空气:0.4-0.5MPa
1.11 使用环境:温度23℃±5℃,湿度20%-80%(无结霜)
・Achieve the smooth stage movement with quick |
position |
・Smooth workability with 3 steps switching for Z lever |
・Adopted the free arm that enables the microscope |
to operate with wide range |
・Enable to upgrade the hot chuck and other |
accessories by easy replacement function, |
・It can be customized with variety of options |
日本岩通计测IWATSU - 德国PMK - 牛顿N4L- GWINSTEK- 日本APOLLOWAVE - 德国 DR HUBERT 中国总代理
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