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日本Apollowave阿波罗 无液氮真空低温探针台系统MJ-3000
所属类别:真空探针台系统
产品简介:可以无需要液氮进行-180℃~+100℃ 的高低温真空探针测试。
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液体窒素不要! 冷・加温真空チャンバ
MJ-3000は、半導体材料等の各特性を測定するための25mm 角ウェーハ対応のパルスチューブ冷凍機を実装した、小型軽量の冷・加温真空チャンバーです。液体窒素を用意する必要がなく、手軽に-180℃~+100℃まで試料を温度可変することができます。また、外部操作型ポジショナーが搭載されていますので、真空中で自由に深針移動が可能です。
4深針の外部操作型ポジショナーを搭載し、大気開放せずに真空中で深針移動ができます。
従来の装置と違い、加熱ステージとパルスチューブ冷凍機 ※ が搭載されており、液体窒素を用意する必要がなく、長時間の作業でも酸欠(酸素欠乏症)の心配がありません。
試料を-180℃~+100℃まで温度可変することができ、一定温度状態の試料測定が長時間可能となっています。
チャンバー上蓋はヒンジ開閉式で110°開きますので、試料へのアクセスがスムーズにできます。
ビューイングポート(回転式遮光蓋付属)が標準装備されており、光照射および顕微鏡を使用しての試料観測、探針移動、遮光に便利です。
※本装置搭載のパルスチューブ冷凍機は、従来型と違いコンプレッサーと一体型で省スペース、低振動、長寿命、低消費電力の冷凍機です。

MJ-3000

MJ-3000基本仕様
温度ステージ部
温度精度(ステージ温度) ±1℃(ホールド状態)
振動 約2μm以下
材料 銅(レーデント<黒>)
寸法 □33mm(接地タイプ)
試料有効寸法 □25mm
温度範囲 - 180℃~+ 100℃(Max.)
センサー PT100(4 線式)
ヒーター セラミックスヒーター
試料押え 4個
真空チャンバー部
真空度 10 - 2 Pa 以上(真空ポンプに依存します)
ビューポート 石英ガラスφ 79 × t4mm(覗き有効径66 φ)
ポジショナーポート 外部操作型用:4個
予備端子ポート 1個
リークバルブポート 1/ 4" スウェージロック:1 個
センサーポート ICF34:1個
ヒーターポート ICF34:1個
ゲージポート NW25:1個
予備ポートえ NW25:1個
真空引口 NW40:1個

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