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日本Apollowave 阿波罗微波α-100 手动探针台
所属类别:手动探针台
产品简介:Offer the new standard model of alfa series with high operational advanced performance
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1 探针台主机:α-100

   1.1 适用:      4英寸及以下晶圆或芯片

    1.2   X轴:     粗调行程:100mm

            粗调方式:自锁式推拉杆

            微调行程:13mm

            微调方式:千分尺控制

            控制分辨率:10um

1.3   Y轴:    粗调行程:120mm

            粗调方式:自锁式推拉杆

            微调行程:13mm

            微调方式:千分尺控制

            控制分辨率:10um

1.4   Z轴:    移动量:5mm

            粗调行程:5mm,精度:±10%以内

            微调行程:0.3mm,精度:±20%以内

1.5   θ轴:    移动量:±10°以上

1.6   平行度:  对载物台 30um以内

1.7   尺寸:    400W×360D×330H) 不含突出部

1.8   重量:    25kg

1.9   真空压    小于-65kPa(用于晶圆吸附)

1.10  压缩空气:0.4-0.5MPa

1.11  使用环境:温度23℃±5℃,湿度20%-80%(无结霜)
Achieve the smooth stage movement with quick
  position 
・Smooth workability with 3 steps switching for Z lever
・Adopted the free arm that enables the microscope  
  to operate with wide range
・Enable to upgrade the hot chuck and other
  accessories by easy replacement function,
・It can be customized with variety of options

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